無塵烘箱作為半導(dǎo)體、生物制藥、精密電子等高潔凈領(lǐng)域的設(shè)備，不僅需提供穩(wěn)定溫控，更須在高溫下維持內(nèi)部空氣潔凈度（通常達(dá)ISOClass5/百級）。其操作遠(yuǎn)非普通烘箱可比，稍有疏忽便可能導(dǎo)致樣品污染、設(shè)備損壞甚至安全事故。掌握
無塵烘箱科學(xué)、規(guī)范的使用方法，是保障工藝純凈與運行可靠的核心。
一、使用前準(zhǔn)備
環(huán)境確認(rèn)：
安置于潔凈室或?qū)Ｓ脻崈艄ぷ鲄^(qū)內(nèi)，避免在多塵、高濕或強(qiáng)振動環(huán)境中使用；
確保供電電壓穩(wěn)定，接地良好（接地電阻<4Ω）；
樣品與容器要求：
樣品應(yīng)預(yù)先清潔，避免帶入外部顆粒；
使用潔凈、耐高溫的不銹鋼或玻璃器皿，嚴(yán)禁使用紙質(zhì)、塑料或易揮發(fā)材料；
樣品擺放留有間隙（≥2cm），確保氣流均勻通過，切勿堵塞風(fēng)道或遮擋HEPA出風(fēng)口。
二、規(guī)范啟停流程
開機(jī)自凈：
關(guān)閉箱門后，先啟動風(fēng)機(jī)運行10–15分鐘，置換內(nèi)部空氣并建立層流；
再開啟加熱，避免冷態(tài)直接升溫導(dǎo)致熱沖擊或微粒擾動；
設(shè)定合理參數(shù)：
升溫速率建議≤5℃/min，防止樣品開裂或溶劑暴沸；
工作溫度不得超過HEPA濾網(wǎng)耐受極限（通常≤250℃，ULPA≤180℃）；
運行中監(jiān)控：
通過觀察窗查看樣品狀態(tài)，禁止頻繁開門，以免破壞潔凈環(huán)境；
記錄溫度曲線，確保符合工藝要求。
三、使用后處理
自然降溫：關(guān)閉加熱后，保持風(fēng)機(jī)運行至箱內(nèi)溫度≤60℃，再關(guān)風(fēng)機(jī)，防止熱滯留損傷HEPA；
排氣處理（如有揮發(fā)物）：開啟帶過濾的排氣閥，連接廢氣系統(tǒng)，避免有害氣體逸散；
清潔維護(hù)：
待冷卻后，用無塵布蘸酒精擦拭內(nèi)膽；
每月檢查HEPA壓差，超限（通常>250Pa）即更換；
定期校準(zhǔn)溫度傳感器（建議每年一次）。
更新時間：2026-02-26 
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